研究用品 研究機器 プラズマ装置 ヤマト科学（株）メーカー名ヤマト科学（株）プラス名称 ヤマト商品名ヤマト　プラズマ装置型式PR500メーカー希望小売価格【税抜】6510000円(税抜)オレンジブック年　ページ発注コード136-2390JANコード4573181501292特長●低温プラズマ・バレル型です。用途●フォトレジストの除去・部品の洗浄・ウエーハ/ガラス基板処理仕様●外形寸法(mm)：438×520×760●電源(V)：AC100　20A●反応層：石英製Φ215×305mm●ヤマト　プラズマ装置材質セット内容／付属品注意●※運賃、据付費別途見積り原産国日本重量納期目安お取寄品（都度問合せ）