電子機器 電気・電子部品 電源装置 （株）アルバックメーカー名（株）アルバックプラス名称 ULVAC商品名ULVAC　成膜用DC電源　DC−4−D　入出力ケーブル付き型式210007138600メーカー希望小売価格【税抜】1647000円(税抜)オレンジブック年　ページ発注コード681-4230JANコード1特長●定格1〜100%の領域で設定値の±1%の高精度出力保証しています。●軽量・省スペース設計です。●プラズマを熟知した出力制御です。●強制空冷方式のため冷却水が不要です。●優れたARC機能と高速ARC遮断回路を搭載です。用途●FPD用スパッタリング装置用。●半導体用スパッタリング装置用。●電子部品用スパッタリング装置用。●R&D向けスパッタリング装置用。●産業コーティング用スパッタリング装置用。●各種成膜装置のバイアス電源に。仕様●タイプ：成膜用DC電源●入力電圧範囲(V)：200V/220（三相）●定格出力電力(W)：4000●最大出力(A)：10●最大出力(W)：4000●幅(mm)：241●奥行(mm)：610●高さ(mm)：133●全長(mm)：610●定格出力電圧(V)：800●出力電流(A)：10●入力端子電源入力範囲(V)：200/220●出力電圧(V)：800●オプションハーネス(別売)：出力ケーブル長選択可●動作周囲温度(℃)：40以下●RoHS、CE、KC、SEMI-F47に対応材質セット内容／付属品●入力ケーブル：DC-2／4-IN　4m●出力ケーブル：DC-2／4-OUT　5m注意原産国日本重量18KG納期目安お取寄品（都度問合せ）