特長●進化を続ける半導体産業の基盤であるウェハをクリーンかつ安全に輸送する容器です。●有機無機の汚染やパーティクルの発生がきわめて少なく、振動・衝撃にも強いです。●低有機汚染性能を追求したモデルです。用途仕様●対応ウェハー(インチ)：4●外形寸法(mm)間口：141●外形寸法(mm)奥行：175●外形寸法(mm)高さ：139仕様2●カセットタイプ材質／仕上●ポリカーボネート●エラストマーセット内容／付属品注意●火気厳禁。